برق. قدرت. کنترل. الکترونیک. مخابرات. تاسیسات.

دایره المعارف تاسیسات برق (اطلاعات عمومی برق)

به نام خدا

 

خصوصیات بستر Substrate مناسب در تولید سنسورهای گاز بر پایه ی تکنولوژی فیلم ضخیم:

 

در سالهای اخیر تکنولوژی بستر برای سنسور ها از رشد چشمگیری برخوردار بوده است، بطوریکه انتخاب ماده زیرلایه مناسب اهمیت زیادی یافته است.  بطورخاص، بستر یا زیرلایه برای مقاصدی نظیر سنسورهای گاز باید دارای هدایت الکتریکی کم، پایداری حرارتی و شیمیایی قابل ملاحظه و تضمین چسبندگی مناسب لایه ای که روی آن می نشیند باشد. همزمان، بستر نباید هیچ واکنش ناخواسته ای با لایه اکسید فلز حساس به گاز در زمانی که سنسور ساخته می شود یا در زمان کار سنسور داشته باشد. این مسئله که در هر دو حالت هیچ فعل و انفعال شیمیایی نباید رخ دهد از درجه اهمیت زیادی برخورداراست، چرا که در هنگام ساخت سنسور بدلیل نفوذ مواد ارگانیک و سپس در مرحله گرمایش یا فایرینگ Firing بدلیل حرارت بسیار بالای اعمال شده به کل قطعه (در حدود 1000 درجه سانتیگراد و بالاتر) واکنشهای متفاوتی با هنگامی که سنسور در حال کار و انجام فعل و انفعال با گازهای متفاوت است بروز می کند.

 

در بسیاری از کاربردهای سنسور بهترین نوع زیر لایه همان اکسید آلومینیوم یا Al2O3 (با درجات خلوص متفاوت) است. برای این نوع بستر، برای جلوگیری از هر نوع فعل و انفعال آتی لایه ای تحت عنوان سدّ انتشار Diffusion Layer بر روی آن کشیده می شود. این لایه معمولاً یک لایه فیلم نازک اکسید سیلکون با قابلیت پایداری در دمای بالاست که با روش Sputtering روی بستر به ضخامت یک میکرومتر قبل از چاپ اجزای سنسور نشانده میشود.

 

این روش پیشگیرانه ارزان قیمت همچنین برای سایر سنسورهای فیلم ضخیم اکسید فلزی توصیه میشود؛ چرا که جدای بازدارندگی از تشکیل هر نوع فاز اکسیدی مرکب، این لایه باعث میشود که هیچ دوپینگی از ناحیه یونهای فلزی و ناخالصیهای بستر متوجه فیلمهای مربوط به سنسور نشود.

 

از دیگر خصوصیات یک بستر Substrate مناسب برای سنسور گاز، داشتن حداقل تخلخل یا منفذ است. داشتن ولتاژ شکست دی الکتریک بسیار بالا، مقاومت سطحی و حجمی بالا و ثابت دی الکتریک پایین از دیگر خصوصیات یک زیرلایه مناسب برای اهداف سنسور گاز است. جدول زیر خصوصیات مکانیکی و الکتریکی و حرارتی زیرلایه ی آلومینای مناسب برای سنسورهای را نشان می دهد.

 

جدول یک - خصوصیات بستر مناسب برای سنسورهای گاز بر پایه ی فیلم ضخیم

(برای دیدن جدول بصورت کامل یا اینجا را کلیک کنید و یا آنرا کپی و ذخیره کنید)

 

صفحات جانبی

نظرسنجی

    لطفاً نظرات خود را درمورد وبلاگ با اینجانب در میان بگذارید.(iman.sariri@yahoo.com)نتایج تاکنون15000مفید و 125غیرمفید. با سپاس


  • آخرین پستها

آمار وبلاگ

  • کل بازدید :
  • تعداد نویسندگان :
  • تعداد کل پست ها :
  • آخرین بازدید :
  • آخرین بروز رسانی :